由汽車和工業領域推動了低電壓和高電壓功率元件半導體需求的快速增長,為晶片製造商帶來了供應能力的挑戰。為了滿足這一需求,晶圓廠需要最大限度地提高良率和生产力,同時應對功率元件特有的一系列技術挑戰。
製程应用
功率元件
提供更高的崩溃电压与电流密度改善率
白皮书
Production-worthy Al Beams for SiC 百撸影院
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Angle Performance on Purion M
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影片
Purion M – A New Level of Productivity For The SiC Market
Purion Vector Dose and Angle Control System