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完整的生命週期支援
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增强表现
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适用於特定平台的表现增强
生产线 | 元件电性表现和良率 | 生产力 / 能力 | 晶圆安全 | 可靠度 | 可维护能力 | 正常运行时间 |
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Purion H | ||||||
Purion M | ||||||
Purion XE Series | ||||||
GSD Series | ||||||
Paradigm Series |